Anonim
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Ces «micro-machines», qui peuvent intégrer des composants électroniques, des capteurs et des éléments mécaniques sur un substrat de silicium, ont une taille allant du micromètre au millimètre.

Elles sont devenues une proposition pratique avec l’avancée des technologies de fabrication de semi-conducteurs, telles que la gravure humide et la gravure sèche. Une partie de la puce MEMS sera fabriquée à l'aide de séquences de processus de circuits intégrés et une autre partie via des processus de micro-usinage.

"Les circuits intégrés microélectroniques peuvent être considérés comme le" cerveau "d'un système et MEMS augmente cette capacité de prise de décision avec des" yeux "et des" bras "pour permettre aux microsystèmes de détecter et de contrôler l'environnement", est une analogie utilisée par MEMSnet. .org.

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Les systèmes basés sur MEMS sont destinés aux marchés de l’automobile, du biomédical et de l’électronique, avec beaucoup de recherche et développement visant à libérer le potentiel de la technologie MEMS.

Les générations de capteurs MEMS sont également représentées par les progrès de la technologie des micro-capteurs. Ceux-ci vont des capteurs MEMS de base de première génération, basés sur une structure de silicium parfois combinée à une amplification analogique, aux capteurs MEMS de quatrième génération chantant et dansant, qui voient la fusion d’un élément de capteur de base avec conversion analogique-numérique, et prise en charge de la linéarisation et de la compensation de température sur une puce, ainsi que de cellules de mémoire pour l'étalonnage et les données de température.

Nous rassemblons ci-après des ressources d’électronique Weekly et d’organismes gouvernementaux britanniques et européens afin de fournir des informations de référence détaillées sur les mems.

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